压陷差错对厚度校准片校准成果的影响

  响 ，在 丈量 中最 好 是 选 用 平 面 测 头 ，以 提 高 测 量 准

  式 中 ：Ｒ为测 头 圆柱 半 径 ，ｍｍ； 为 厚 度 校 准 片 的泊

  摘 要 ： 主 要 介 绍 了在 利 用 数 显 式 电感 测 微 仪 对 覆 层 测 厚 仪 厚 度 校 准 片 进 行 校 准 时 ， 由 测 量 力 引起 的 压 陷 误

  关 键 词 ： 数 显 式 电感 测 微 仪 ；覆 层 测 厚 仪 ； 厚 度 校 准 片 ；压 陷误 差 ；校 准

  中 图 分 类 号 ：Ｔ ９ １ Ｂ ２ 文献 标 识码 ：Ｂ 文 章 编 号 ：１ ０ ０ ２—６ ６ （ ０ ８） ０ ０ １ ２０ ３—０ ５ ０ ３—０ ２

  覆层 测厚 仪 是 用 来 检 测 覆 层 厚 度 的 一 种 仪 器 ，通

  常需 要用 厚度 校 准 片进行 校 验 ，校 准 片 的厚 度 一般 为 ５

  进行 校准 。对 厚 度 校 准 片 的 校 准 按 照 ＪＧ ８ ８—２ ０ Ｊ１ ０５

  《 磁性 、电涡 流式 覆层 厚度 测 量仪 》 中的规 定 进行 ，即 “ 数显 电感式 测微 仪 （ 择 １Ｎ测 力 的测 头 ） 和三 等 用 选

  量 块 ，在平 面工 作 台上 用 直接 法或 比较 法 测 量 ” 。直 接 法 或 比较法 测 量 属 于接 触 式 测 量 ，在 测 量 过 程 中会 引 入 压陷 差错 。

  度 校准 片 的 弹性模 量 ，ＭＰ 。厚 度 校 准 片 为 Ｐ Ｔ材 料 ， ａ Ｅ

  １ ０ ｍ。在校 准覆 层测 厚 仪 时 ，首要 需 要对 厚 度 片 ００

  收 稿 日期 ：２０ ０ ０ ８— ３—１ ；收 修 改稿 日期 ：２ ０ ０ ０ ８ ０ ８— ４— ９

  如 果 将测 头 由 圆 测 头 改 成 平 面 测 头 ，根 据 材 料 力

  学 的相关 知 识 ，我 们 可 以 知 道 ，即便 测 量 力 不 变 ，由

  （．我国一 航北 京长 城计 量 测验 技能研 究所 ，北 京 １９ ；２ 汉大 学 工学 院 ，湖北 武汉 ４０７ ） １ ００ ５ ．武 ３０ ２

  在进 行 触摸 式 测 量 时 ，为 了 保 证 工 件 和计 量 器 具

  间 杰出 的 接 触 ，需 要 一 定 的 测 力 。在 测 力 的 作 用 下 ，

  量具 的测 头会 压 人 工 件 表 面 ，使 工 件 表 面产 生 弹 性 变 形 ，然后 引进 测 量误 差 ，我 们称 这 个 误 差 为 压 陷 误 差 。 压 陷差错 与测 力 、接 触 方 式 、测 头 和工 件 的 材 料 、测 头 和 工件 触摸 表 面 的圆弧 半径 等 因 素有关 。

  测 头形 状 等 方 面 采 取 措 施 。但 当测 力 很 小 时 ，会 导 致 测 头 和工 件 接 触 不 好 ，产 生 新 的 测 量 偏 差 ，因而 减 小

  根 据 ＪＧ ８ ８— ０ ５ 《 性 、电涡 流 式 覆 层厚 度 测 Ｊ １ ２ ０ 磁

  量 仪 》 的规 定 ，Ｂ级 准 确 度 的厚 度 校 准 片 的 测 量 不 确 定 度 要求 如 表 １所示 。

  测 头 形成 的 压 陷 误 差 也 会 显着 减 小 。下 面 咱们 以选 用

  ６ 的钢制 平 面 测 头 为 例 来 计 算 压 陷误 差 。 因为 和 ６ｍｍ

  厚 度 校准 片 相 比 ，可 以将 钢 测 头 视 为 刚 性 体 ，其 压 陷 变形 量 ６ 可用 （ ）式 核算 。 。 ２

  由表 １ 以看 出 ，当厚 度 片厚 度 小 于 １０ ｍ 时 ， 可 ４ 标 准规 定方 法 的压 陷误 差 影 响 现已 超 过 了厚 度 片 测 量

  不 确认 度 ，显 然 方 法 不 合 理 。在 实 际 测 量 时 ，为 获 得 较 高 的丈量 准 确度 ，需求 批改 或 削减 这一 影 响 。

  作者简 介 ：王树成 （ ９ ４一） １７ ，男 ，工程 师 ，从 事高 精度 陶瓷 、 光 学计 量用具研制 、出产管 理作业 。

  样 会 导致修 正 错 误 。为 了尽 量 地 减 少 压 陷误 差 的影

  当咱们 选 用 红 宝 石 球 面 测 头 、下 测 量 面 是 平 面 工 作 台的时分 ，相 对 于 Ｐ Ｔ材 料 来 说 ，可 以将 红 宝 石 测 Ｅ 头 视 为刚 性 体 ，则 其 弹 性 模 量 的影 响忽 略 。 因而 咱们 可 以由 （ ） 式来 计 算 出 因为测 力 引起 的 弹性 变形 量 ６ １ 。 （ 可 以称之 为 压 陷差错 ） 也 。